当前位置: 首页>>半导体干泵|万丰国际>>VS自动检漏仪

VS自动检漏仪

   

概述

VS 系列检漏仪将仅需两个按钮的简便操作同先进的专业系统智能结合起来。顶级的质谱仪与真空系统的结合提供了强大的性能,能为不同的应用提供广泛的测试方法。广泛的选项带来了巨大的配置灵活性,极富活力的设计创意令 VS 系列检漏仪能够在最严苛的环境中可靠地运行,满足最苛刻的工业标准。

特点

全自动的初始设置及校正最大程度地提升了效率

测试接口高压力允许对大型泄漏的检测

主泵和系统的安装可以根据您的需求进行选择

快速的净化延长了系统的正常运行时间,强大的法拉第杯技术以低廉的维护成本带来了经证实的可靠性

在扩大范围的同时摒弃了繁杂的接线

新型高效离子源和束流光学优化了灵敏度和质量分离

检漏仪可以外放于洁净室内,从而避免污染

参数

窗体顶端

VS PR02 Portable窗体底端

DS-42 Rotary Vane Pump

VS PD03 Portable

Dry Pump Combination

VS MR15 Mobile

DS-302 Rotary Vane Pump

VS MD30 Mobile

TS-620 Dry Scroll Pump

VS BR15 Bench Mount

DS-302 Rotary Vane Pump

VS BD30 Bench Mount

TS-620 Dry Scroll Pump

Minimum Detectable Leak at 1000 ppm Ambient Helium

Atm cc/sec helium

5 ž 10-12

Mbar-liters/sec helium

5 ž 10-12

Pa-mü/sec helium

5 ž 10-13

Maximum test port pressure

10 torr/13 mbar/1330 Pa

Helium pumping speed

1.8 liters/sec at test port in fine test

Calibration routine

Automated or manual

Background helium suppression

Push button initiated auto zero and

auto zero< zero

User interface

High-clarity color touch screen

Selectable languages

English, French, German, Japanese,Korean, Mandarin, Spanish

Programmable functions for auto cycling

Roughing time, test time, reject set points

Response time

<0.5 seconds

Set points (standard 5)

Leak rate (3), pressure (1), audio (1)

Communications interface

RS-232 at 9600 baud (DB-9S connector)

Conformance standards

UL/CSA, CE窗体底端